Впервые сверхъестественные силы изобразил Жорж Мелье (Georges Méliès) в короткометражных немых фильмах конца 1890-х. Наиболее известный из них - "Замок Дьявола" (Le Manoir Du Diable), который считается первым фильмом ужасов в истории.
В начале ХХ века появились первые полнометражные фильмы. И первым монстром был Квазимодо - горбун из Нотр-Дама из книги Виктора Гюго "Собор Парижской Богоматери", опубликованной в 1831.
Первые фильмы ужасов были созданы в Германии в 1910-х и 1920-х, и многие из них оказали большое влияние на Голливудские творения. В 1915 году вышел "Голлем" Пола Вегенера (Paul Wegener). Первый фильм о вампирах был "Носферату" (1922) Ф.В. Мурно (F.W. Murnau) - экранизация книги Брэма Стокера "Дракула".
Благодаря американским кинопродюсерам (особенно компании Universal Pictures) жанр ужасов стал особенно популярным в 1930-е года. В это время вышли несколько успешных фильмов, в том числе "Дракула" (1931), "Мумия" (1932), некоторые из которых были смесью научной фантастики и готических ужасов. Например, "Франкенштейн" (1931) и "Невидимка" (1933) Джеймса Уэйла. Некоторые актеры строили свою карьеру исключительно на таких фильмах, наиболее известные из них - Борис Карлов и Бела Лугоси.
Universal продолжили выпускать фильмы и в 1940-х годах, начиная с "Человека-волка" (The Wolf Man) 1941 - не первый, но, определенно, один из наиболее влиятельных фильмов об оборотнях. В то же время Universal продолжили выпускать сиквелы к Франкенштейну, а также фильмы, в которых были собраны несколько различных монстров.